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 空氣經過深冷制氮機的過濾器、壓縮機、冷卻器、油水分離器、空氣預冷器、分子篩吸附器后進入分餾塔、利用液氧、液氮沸點不同進行分離氧氣和氮氣，得到高純度氮氣。深冷制氮機運行時間長，減少維修量，全低壓流程、節能，全鋁分餾塔、不漏氣，進口空壓機和冷凍機組。

   深冷制氮機的整個深冷制氮的整個流程由三個部分組成的，即空氣壓縮及凈化、空氣分離、液氮汽化。

1.空氣壓縮及凈化 
     深冷制氮是空氣經空氣過濾器清除灰塵和機械雜質后進入空氣壓縮機，壓縮至所需壓力，然后送入空氣冷卻器，降低空氣溫度。再進入空氣干燥凈化器，除去空氣中的水份、二氧化碳、乙炔及其它碳氫化合物。 
2.空氣分離 
     凈化后的空氣進入空分塔中的主換熱器，被返流氣體（產品氮氣、廢氣）冷卻至飽和溫度，送入精餾塔底部，在塔頂部得到氮氣，液空經節流后送入冷凝蒸發器蒸發，同時冷凝由精餾塔送來的部分氮氣，冷凝后的液氮一部分作為精餾塔的回流液，另一部分作為液氮產品出空分塔。 
      由冷凝蒸發器出來的廢氣經主換熱器復熱到約130K進膨脹機膨脹制冷為空分塔提供冷量，膨脹后的氣體一部分作為分子篩的再生和吹冷用，然后經消音器排入大氣。
3.液氮汽化 
    由深冷制氮裝置空分塔出來的液氮進液氮貯槽貯存，當空分設備檢修時，貯槽內的液氮進入汽化器被加熱后，送入產品氮氣管道。 深冷制氮可制取純度≧99.999%的氮氣。

 

★現如今這種設備不太受市場的采用，占地面積大，不過也要（她）的好處，看應用在哪里。